凈化工程中對空氣的處理主要采用的是循環(huán)系統(tǒng)的送風方式，GMP廠房潔凈工程根據(jù)之前的文章中的介紹了可以了解，影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時對于生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。

(1)集中送風方式

凈化工程廠家采用數(shù)臺大型新風處理機組和凈化循環(huán)機組集中設置在空調機房內，空調機房可位干潔凈室的側面或頂部。經過溫度、濕度處理和過濾后的空氣由離心風機或軸浙風機加壓后通過風道送入送風靜壓箱，再經由高效過濾器或超高效過濾器過濾后送入潔凈室?；仫L經格柵地板系統(tǒng)，流入回風靜壓箱再回到凈化循環(huán)系統(tǒng)，如此反復循環(huán)運行。

(2)隧道潔凈室送風方式

這種送風方式，凈化工程廠家一般把潔凈室劃分為生產核心區(qū)、維護區(qū)，生產核心區(qū)要求高潔凈度和嚴格的溫、濕度控制，設在單向流送風區(qū)內；維護區(qū)要求較低，設置生產輔助設備或無潔凈要求的生產設備的尾部和配管配線等。生產區(qū)為送風區(qū)，維護區(qū)為回風區(qū)，構成空氣循環(huán)系統(tǒng)。一般隧道式送風是由多臺循環(huán)空氣系統(tǒng)組成，所以其中一臺循環(huán)機組出現(xiàn)故障不會影響其他區(qū)域的生產環(huán)境潔凈度，并且各個循環(huán)系統(tǒng)可根據(jù)產品生產需要進行分區(qū)調整控制。

(3)風機過濾單元送風方式

凈化工程廠家在潔凈室的吊頂上安裝多臺風機過濾單元機組(Fan Filter Unit,簡稱FFU)，構成凈化循環(huán)機組，不需要配置凈化循環(huán)空調機房，送風靜壓箱為負壓?？諝庥蒄FU送到潔凈室，從回風靜壓箱經兩側夾道回至送風靜壓箱，根據(jù)凈化工程的溫度調節(jié)需要，一般在回風夾道設于式表冷器。新風處理機可集中設在空調機房內，處理后新風直接送人送風靜壓箱。因送風靜壓箱為負壓，有利于高效過濾器頂棚的密封；但由于FFU機組臺數(shù)較多，在滿布率較高時，一般投資較大，運行費用亦多，有的FFU噪聲較大選用時需要注意。

(4)模塊式風機單元送風方式

它是由送風機安裝在HEPA或ULPA之上，1臺送風機可配數(shù)臺高效過濾器的空氣循環(huán)系統(tǒng)，這種模塊式風機單元(FanModule Unit ，簡稱FMU)循環(huán)系統(tǒng)是無風管道方式，空氣輸送速度較低，送風機和過濾器維修較方便,能量消耗較少。

(5)微環(huán)境+開放式潔凈室的送風方式,

凈化工程為了確保日益要求生產環(huán)境極為嚴格的半導體芯片生產的關鍵工序或設備的微環(huán)境控制達到高潔凈度等級(如0.05-0.1m, ISO 1級)，而其周圍的開放式大面積潔凈環(huán)境僅保持在相對較差的潔凈度等級(如ISO 5級或ISO 6級)，微環(huán)境內控制沽凈度嚴格的單向流潔凈環(huán)境，而開放式潔凈室為單向流或混合流潔凈室。這種方式的能量消耗較少，工藝布置靈活性好，建設投資和運行凈化工程的費用都可以降低。

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